1、原水箱→增壓泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→陽離子交換床→陰離子交換床→混床增壓泵→混合離子交換器→純水箱

2、原水箱→增壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性碳過濾器→精密過濾器→高壓泵→單級反滲透裝置→中間水箱→混床增壓泵→混床超純水系統(tǒng)→超純水箱

3、原水箱→增壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性碳過濾器→軟化過濾器→精密過濾器→高壓泵→單級反滲透裝置→中間水箱→混床增壓泵→混床超純水系統(tǒng)→超純水箱

4、原水箱→增壓泵→機械過濾器→活性碳過濾器→軟化過濾器→PH調(diào)試裝置→保安過濾器→一級高壓泵→一級反滲透裝置→二級高壓泵→二級反滲透裝置→中間水箱→EDI增壓泵→EDI電去離子水裝置→高純水箱

5、原水箱→增壓泵→機械過濾器→活性碳過濾器→阻垢系統(tǒng)→PH調(diào)試裝置→保安過濾器→一級高壓泵→一級反滲透裝置→二級高壓泵→二級反滲透裝置→中間水箱→EDI增壓泵→EDI電去離子水裝置→高純水箱
高純水裝置 電阻率10兆歐以上，15兆歐以下，16兆歐以上，17兆歐，5兆歐

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