膜技術(shù)在純水制造中的應(yīng)用 --集成電路用高純水裝置，液晶顯示器清洗用超純水系統(tǒng)，微電子行業(yè)用工業(yè)純水設(shè)備

 純水制造中應(yīng)用的膜技術(shù)主要有電滲析（ED）、反滲透（RO）、納濾（NF）、超濾（UF）、微濾（MF），其工作原理、作用等見下表。

 與傳統(tǒng)的水處理技術(shù)相比，膜技術(shù)具有工藝簡單、操作方便、易于自動控制、能耗小、無污染、去除雜質(zhì)效率高、運(yùn)行成本低等優(yōu)點，特別是幾種膜技術(shù)的配合使用，再輔之以其他水處理工藝，如石英砂過濾、活性炭吸附、脫氣、離子交換、UV殺菌等，為去除水中的各種雜質(zhì)，滿足日益發(fā)展的電子工業(yè)對高純水的需要，提供了有效而可靠的手段，而且也只有應(yīng)用了多種膜技術(shù)，才能生產(chǎn)出合格、穩(wěn)定的高純水，才能生產(chǎn)出大規(guī)模、超大規(guī)模、甚大規(guī)模集成電路 （LSI、VLSI、ULSI），從而使計算機(jī)、雷達(dá)、通訊、自動控制等現(xiàn)代電子工業(yè)的發(fā)展和應(yīng)用得以實現(xiàn)。

    值得一提的是：當(dāng)原水的含鹽量大于400mg/L時，純水制造的除鹽工序采用RO-離子交換工藝后，比早先單用離子交換可節(jié)約酸、堿約90%左右，使離子交換柱的周期產(chǎn)水量提高10倍左右，事實證明，可以降低純水制造的運(yùn)行費用和制水成本，可以減少工人的勞動強(qiáng)度，可以減少對環(huán)境的污染，并可使純水水質(zhì)得到提高并長期穩(wěn)定。據(jù)統(tǒng)計，在我國電子工業(yè)引進(jìn)的純水制造系統(tǒng)中，有RO的約占系統(tǒng)總數(shù)的90%，有UF的約占20%，有MF的幾乎為100%，而ED在我國國產(chǎn)的純水系統(tǒng)特別是早期投產(chǎn)的純水系統(tǒng)，以及為數(shù)眾多的對純水水質(zhì)要求不高的一般電子元器件（如電阻、電容、黑白顯像管、電子管等）制造廠的純水系統(tǒng)中占有相當(dāng)?shù)谋壤?

微電子工廠純水站使用膜技術(shù)實況

  現(xiàn)以某微電子工廠中的某一5T/H純水站使用海德能膜技術(shù)的實況，說明膜技術(shù)在電子工業(yè)純水制造中的應(yīng)用。

  1.前級UF

  前級UF是用于去除水中的懸濁物、膠體及有機(jī)物，降低水的SDI值，確保RO的安全運(yùn)行。前級UF有8支，進(jìn)水16m3/h，透過水15m3/h，濃縮水排放，回收率約90%。UF組件為立升公司生產(chǎn)的中空纖維膜。UF前采用5μm保安過濾器。

  2.一級RO

  水中加入還原劑Na2SO3（加藥量為水中余氯值的1.8倍）以防止余氯氧化腐蝕RO膜，加入阻垢劑（加藥量為5ppm）以防止CaCO3 、CaSO4等在RO膜上結(jié)垢，再經(jīng)5μm保安過濾器后由高壓泵打進(jìn)一級RO。一級RO有4組，均為2芯裝的膜殼。呈（3+1）排列，膜容器由FRP（玻璃鋼）制成，每根內(nèi)裝2個RO膜元件，總共為8個RO膜元件，進(jìn)水16m3/h，透過水8m3/h，濃縮水排放，回收率為50%，脫鹽率＞90%（初始脫鹽率＞99%），操作壓力1.55Mpa。RO膜元件采用海德能公司生產(chǎn)的芳香聚酰胺復(fù)合反滲透膜，膜元件平均脫鹽率99.5%。

  3.二級RO

  一級RO水箱出水中一部分進(jìn)入A系統(tǒng)，先加NaOH（CP級）調(diào)節(jié)pH為8.2-8.6，使水中CO2生成HCO3- ，被二級RO除去，以減輕混床離子交換的負(fù)擔(dān)，采用二級RO可以使混床再生周期延長一倍，減少再生酸堿耗量，并可進(jìn)一步去除TOC和膠體物質(zhì)。二級RO共5根膜容器，每根容器內(nèi)裝1支RO膜元件，共5支RO膜元件，進(jìn)水8m3 /h，出水5m3/h，濃水排至超濾水箱，回收率約為70%，脫鹽率＞70%(初始脫鹽率＞80%)，RO膜元件采用海德能公司反滲透膜，型號與一級RO膜元件相同。

  4.微濾

  本系統(tǒng)的微濾可分為三類，第一類為前級UF、RO前的保安過濾器，用于去除水中的懸濁物微粒，降低水的SDI值，濾芯為PP（聚丙烯）膜摺迭式濾芯，孔徑為5μm或3μm。第二類在離子交換后，用于濾除離子交換樹脂碎片，濾芯為PP膜折疊式濾芯，孔徑為1μm。第三類在UV殺菌器后，用于濾除微生物尸體，濾芯為折疊式濾芯，孔徑為0.45μm或0.22μm--集成電路用高純水裝置，

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